氧化陶瓷是一种以氧化铝(Al2O3)为主体的陶瓷材料,用于厚膜集成电路。氧化铝陶瓷有较好的传导性、机械强度和耐高温性。对氧化铝陶瓷的增韧是目前使用增韧方法是添加百分之二十的氧化锆(ZrO2)增韧。当氧化铝中加入纯Zr02,粒子形成ZrO2增韧氧化铝陶瓷时,当添加含量适当时,可使韧性显著提高。
由于氧化铝陶瓷材料的硬度较好,需要用较硬的研磨抛光砖材料来完成,如SIC、B4C或金刚钻。此外,在抛光过程中,氧化铝陶瓷材料外表的润滑性应提早得到改进。
在氧化铝陶瓷材料的精加工中,常用的办法是由粗到细逐步研磨,然后抛光外表。氧化铝陶瓷抛光时,运用的是小于1μm微米的Al203微粉或者是用金刚钻糊进行研磨和抛光。当然,激光加工和加工也可以到达研磨和抛光氧化铝陶瓷的意图。
以上是改进氧化铝陶瓷外表光洁度的整理处理,然后是增强氧化铝陶瓷机械强度的处理,即氧化铝陶瓷强化技能。事实上,氧化铝陶瓷外表采用了电子射线真空镀膜、溅射真空镀膜或化学气相沉积等先优良技能,使氧化铝陶瓷得到了增韧。
氧铝陶瓷机械度,缘电阻,硬度,磨、及温等系列,其应于陶瓷、纺织、石油、工、建筑及电子等各个工作,是现在氧物陶瓷半途较、产销量较的陶瓷材料。通氧铝陶瓷为两类,类是铝瓷,特殊是刚玉瓷。铝瓷是以AL2O3和SIO2为首要成的陶瓷,其间AL2O3的含量在45以上,随着AL2O3含量的多,铝瓷的各项目标所。由于瓷坯中主晶相的不同,又为刚玉瓷、刚玉莫来石瓷、英来石瓷、莫来石瓷等。
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